气体质量流量控制器规格参数说明
PCB抄板，即在已经有电子产品实物和电路板实物的前提下，利用反向研发技术手段对电路板进行逆向解析，将原有产品的PCB文件、物料清单(BOM)文件、原理图文件等技术文件以及PCB丝印生产文件进行1：1的还原，然后再利用这些技术文件和生产文件进行PCB制板、元器件焊接、飞针测试、电路板调试，完成原电路板样板的完整复制。
WARWICK®系列气体质量流量控制器（MFC）产品是经过实践验证的适合多种应用场合的标准产品，流量精准度及性价比高，先进的传感器和阀控技术，经过实地应用验证的平台组件以及高速的模拟/数字线路带来最精准的气体流量控制，可以满足客户在数值和功能上对于MFC的不同要求。适用于半导体，平板显示，数据存储，真空工业，ICP光谱设备及太阳能晶硅制程等不同行业。
尧顺科技深圳pcb抄板公司，作为一家有着多年专业抄板经验的公司，提供全方位专业PCB抄板、IC芯片解密、PCB设计、PCB生产加工的服务的高新技术企业，我们不仅可以提供此系列产品的克隆仿制与二次开发，还可以提供诸多设计参考、系统级解决方案与样机调试、批量生产等垂直化服务。
WARWICK®系列气体质量流量控制器（MFC）产品是经过实践验证的适合多种应用场合的标准产品，流量精准度及性价比高，先进的传感器和阀控技术，经过实地应用验证的平台组件以及高速的模拟/数字线路带来最精准的气体流量控制，可以满足客户在数值和功能上对于MFC的不同要求。适用于半导体，平板显示，数据存储，真空工业，ICP光谱设备及太阳能晶硅制程等不同行业。
| 规格 | MC-AN600 | MC-AN601 | MC-AN602 | MC-AN610 | MC-AN611 |
| 量程范围 | 单2-5000SCCM | 单气体5-50SLM | 单气体30-200SLM | 单气2-5000SCCM | 单气体 5-50SLM |
| 阀门类型 | 常开式或常闭式螺线管 | ||||
| 接头 | 1/4〞VCR或1/4〞Swagelok | ||||
| 密封 | 橡胶 | 金属 | |||
| 响应时间 | 到达设定点±2%所需时间≤1SEC | ≤3SEC | 到达设定点±2%所需时间≤1SEC | ||
| 精确性 | ≤满量程1% | ≤满量程2% | ≤满量程1% | ||
| 线性度 | ≤满量程±0.5% | ≤满量程±1% | ≤满量程±0.5% | ||
| 重复性 | ≤满量程±0.2% | ||||
| 压差 | 7-40PSI | 21-40PSI | 7-40PSI | ||
| 漏率 | MAX:1X10ˉ7PA.M3/SEC（HE） | MAX:1X10ˉ11PA.M3/SEC（HE） | |||
| 控制范围 | 满量程的2-100% | ||||
| 最高操作压力 | 50PSI | ||||
| 承受压力 | 最大值150PSI | ||||
| 通讯模式 | 模拟0-5V/4-20MA | ||||
| 输入电压 | +15VDC ±2% at 50MA -15VDC ±2% at 150MA | ||||
| 控制信号 | 0-5VDC/4-20MA | ||||
| 输出模拟信号 | 0-5VDC/4-20MA | ||||
| 功耗 | 3.1W | 3.5W | 3.1W | ||
| 温度范围 | 5-45° | ||||
| 材料 | 316LSS,316SS,PTFE,KM45 | ||||
| 重量 | 0.9KG | 2.2KG | 1.0KG | 1.2KG | |
尧顺科技深圳pcb抄板公司，作为一家有着多年专业抄板经验的公司，提供全方位专业PCB抄板、IC芯片解密、PCB设计、PCB生产加工的服务的高新技术企业，我们不仅可以提供此系列产品的克隆仿制与二次开发，还可以提供诸多设计参考、系统级解决方案与样机调试、批量生产等垂直化服务。
