Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

更新时间：2020-12-10 09:46:22

PCB抄板是反向技术研发一个重要的应用领域。利用PCB抄板对产品进行拆解，从产品的pcb文件、BOM清单、原理图等设计要素入手进行研究，从而达到对引进技术进行消化、吸收和再创新的目的。迄今为止，PCB抄板已经形成一个较为成熟的行业，市场布局也从先前的克隆与复制逐渐向技术改造更新和高端化方向发展。

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备，主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

RTP 150型快速热反应设备，采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要，是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。

RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制，采用了CENTROTHERM公司***技术的温度控制系统。

RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。

设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。

设备特点：

压力可控的真空或大气环境下工作

高灵活性：6寸硅片或其他材料

温度范围：20℃~1150℃

不限时加热的工艺温度可达 750℃

升温速率可达150k/s（即150℃/秒）

每个加热灯管独立控制，极高的温度均匀性

±0.5℃温度一致性

长寿命加热灯管，低维护成本

典型应用：

金属接触退火

掺杂物活化

源极/漏极退火

干氧化

薄晶圆退火

设备参数：

应用：生产或研发

基板材料：硅片、GaAs、石墨、碳化硅、氮化镓、蓝宝石

晶圆尺寸： 6寸

加热系统： 24组加热灯，PWM控制

冷却水： 20 L/分钟

排风： 250 m³/小时

可选件：

用于温度曲线调整的温度测量系统

用于全自动操作的双机械手臂

尧顺科技深圳pcb抄板公司，作为一家有着多年专业抄板经验的公司，提供全方位专业PCB抄板、IC芯片解密、PCB设计、PCB生产加工的服务的高新技术企业，我们不仅可以提供此系列产品的克隆仿制与二次开发，还可以提供诸多设计参考、系统级解决方案与样机调试、批量生产等垂直化服务。